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加速度和壓力。它有很多優(yōu)點:重量較輕、工作可靠、結(jié)構(gòu)很簡單、信噪比很高、靈敏度很高以及信頻寬等等。但是它也存在著某些缺點:有部分電壓材料忌潮濕,因此需要采取一系列的防潮措施,而輸出電流的響應又比較差,那就要使用電荷放大器或者高輸入阻抗電路來彌補這個缺點,讓儀器更好地工作。
二、壓阻壓力傳感器
壓阻壓力傳感器主要基于壓阻效應(Piezoresistiveeffect)。壓阻效應是用來描述材料在受到機械式應力下所產(chǎn)生的電阻變化。不同于上述壓電效應,壓阻效應只產(chǎn)生阻抗變化,并不會產(chǎn)生電荷。
大多數(shù)金屬材料與半導體材料都被發(fā)現(xiàn)具有壓阻效應。其中半導體材料中的壓阻效應遠大于金屬。由于硅是現(xiàn)今集成電路的主要,以硅制作而成的壓阻性元件的應用就變得非常有意義。的電阻變化不單是來自與應力有關(guān)的幾何形變,而且也來自材料本身與應力相關(guān)的電阻,這使得其程度因子大于金屬數(shù)百倍之多。N型硅的電阻變化主要是由于其三個導帶谷對的位移所造成不同遷移率的導帶谷間的載子重新分布,進而使得電子在不同流動方向上的遷移率發(fā)生改變。其次是由于來自與導帶谷形狀的改變相關(guān)的等效質(zhì)量(effectivemass)的變化。在P型硅中,此現(xiàn)象變得更復雜,而且也導致等效質(zhì)量改變及?

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